近年來(lái)，我國(guó)產(chǎn)業(yè)升級(jí)加速，半導(dǎo)體行業(yè)、離子注入、真空鍍膜及空間模擬等設(shè)備對(duì)低溫泵的需求日益增加。為打破國(guó)外企業(yè)對(duì)低溫泵市場(chǎng)及技術(shù)的長(zhǎng)期壟斷，鵬力超低溫聚集力量、重點(diǎn)攻關(guān)，于近日成功研發(fā)多口徑低溫泵產(chǎn)品。

自主可控，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化

低溫泵是一種利用低溫冷凝、低溫吸附方式獲得真空環(huán)境的容積式真空泵，主要由氦氣壓縮機(jī)、GM制冷機(jī)及泵頭組成。借助GM制冷機(jī)研發(fā)生產(chǎn)平臺(tái)，鵬力超低溫為各口徑低溫泵配備了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的制冷機(jī)，實(shí)現(xiàn)了整套低溫泵設(shè)備的完全國(guó)產(chǎn)化。

產(chǎn)品多樣，差異化定制

針對(duì)不同行業(yè)的性能需求差異，鵬力超低溫研發(fā)了8寸、12寸、16寸三種口徑的低溫泵，其氬氣、氫氣抽速及容積、極限真空、渡越容積等性能指標(biāo)均達(dá)到國(guó)外產(chǎn)品同等水平。通過(guò)采用變頻降溫技術(shù)，可大幅度縮短低溫泵降溫及再生過(guò)程所需的時(shí)間。以8寸口徑低溫泵為例，它與壓縮機(jī)一拖三連接時(shí)，完全再生流程時(shí)間為100分鐘，與國(guó)外尖端產(chǎn)品比肩。所有型號(hào)低溫泵產(chǎn)品均配置手操器，提供遠(yuǎn)程操控的上位機(jī)接口及軟件，可通過(guò)中繼控制器對(duì)多臺(tái)低溫泵、壓縮機(jī)進(jìn)行監(jiān)控。

未來(lái)，鵬力超低溫將對(duì)低溫泵產(chǎn)品進(jìn)行持續(xù)升級(jí)，不斷提升設(shè)備穩(wěn)定性，并最終通過(guò)產(chǎn)品的規(guī)?；慨a(chǎn)，為我國(guó)真空行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量！